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Copy mask 规格

Copy mask 规格

1、、、Mask size (Unit: mm)

Soda lime: 3006、、、、4009、、、、5009、、、6009、、、、6012
Quartz：5009、、6009

 

2、、、Mask Specification (Unit: um)

Grade E D C B A
CD ±0.50 ±0.75 ±1.0 ±1.5 ±2.0
Defect <10.0 <10.0 <10.0 <10.0 <10.0

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